DSpace at KIST: 기상화학증착 다이아몬드 자유막의 휨에 미치는 잔류응력의 영향 해석

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	鄭增鉉	-
dc.contributor.author	白泳俊	-
dc.contributor.author	金喜中	-
dc.contributor.author	權東一	-
dc.date.accessioned	2024-01-21T11:12:09Z	-
dc.date.available	2024-01-21T11:12:09Z	-
dc.date.created	2021-09-06	-
dc.date.issued	2002-01	-
dc.identifier.issn	1738-8228	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/139872	-
dc.publisher	대한금속·재료학회	-
dc.title	기상화학증착 다이아몬드 자유막의 휨에 미치는 잔류응력의 영향 해석	-
dc.title.alternative	Analysis of Residual Stress Effect on Out-of-Plane Deformation of Chemical-Vapor-Deposited Free-Standing Diamond Films	-
dc.type	Article	-
dc.description.journalClass	2	-
dc.identifier.bibliographicCitation	대한금속·재료학회지, v.40, no.1, pp.26 - 32	-
dc.citation.title	대한금속·재료학회지	-
dc.citation.volume	40	-
dc.citation.number	1	-
dc.citation.startPage	26	-
dc.citation.endPage	32	-
dc.description.journalRegisteredClass	kci	-
dc.identifier.kciid	ART000883505	-

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