DSpace at KIST: 진공여과아크법에 의한 다이아몬드상 카본 박막 제조

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	신진국	-
dc.contributor.author	이광렬	-
dc.contributor.author	은광용	-
dc.date.accessioned	2024-01-21T15:38:32Z	-
dc.date.available	2024-01-21T15:38:32Z	-
dc.date.created	2022-01-10	-
dc.date.issued	1999-04	-
dc.identifier.issn	1226-7937	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/142275	-
dc.publisher	한국전기전자재료학회	-
dc.title	진공여과아크법에 의한 다이아몬드상 카본 박막 제조	-
dc.type	Article	-
dc.description.journalClass	3	-
dc.identifier.bibliographicCitation	전기전자재료, v.12, no.4, pp.17 - 27	-
dc.citation.title	전기전자재료	-
dc.citation.volume	12	-
dc.citation.number	4	-
dc.citation.startPage	17	-
dc.citation.endPage	27	-
dc.subject.keywordAuthor	다이아몬드상 카본필름	-
dc.subject.keywordAuthor	진공여과아크법	-
dc.subject.keywordAuthor	박막의 물성 및 제어	-

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