KIST Library Institutional Repository

진공여과아크법에 의한 다이아몬드상 카본 박막 제조

Authors

신진국; 이광렬; 은광용

Issue Date

1999-04

Publisher

한국전기전자재료학회

Citation

전기전자재료, v.12, no.4, pp.17 - 27

Keywords

다이아몬드상 카본필름; 진공여과아크법; 박막의 물성 및 제어

ISSN

1226-7937

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/142275

Appears in Collections:

KIST Article > Others

Files in This Item:

There are no files associated with this item.

Export

RIS (EndNote)

XLS (Excel)

XML