DSpace at KIST: 압전성 PZT 박막과 Surface micromachining 기술을 이용한 Microelectromechanical system 소자의 제작 공정 및 문제점

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DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	윤영수	-
dc.date.accessioned	2024-01-21T18:43:03Z	-
dc.date.available	2024-01-21T18:43:03Z	-
dc.date.created	2022-01-10	-
dc.date.issued	1997-01	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/144015	-
dc.title	압전성 PZT 박막과 Surface micromachining 기술을 이용한 Microelectromechanical system 소자의 제작 공정 및 문제점	-
dc.type	Article	-
dc.description.journalClass	3	-
dc.identifier.bibliographicCitation	요업기술, v.12, no.5, pp.364 - 370	-
dc.citation.title	요업기술	-
dc.citation.volume	12	-
dc.citation.number	5	-
dc.citation.startPage	364	-
dc.citation.endPage	370	-
dc.subject.keywordAuthor	MEMS	-
dc.subject.keywordAuthor	PZT	-
dc.subject.keywordAuthor	압전 박막	-
dc.subject.keywordAuthor	Micromachining	-

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