DSpace at KIST: 텅스텐의 화학증착시 압력증가가 증착에 미치는 영향 ..

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	금동화	-
dc.contributor.author	윤호철	-
dc.contributor.author	이정중	-
dc.date.accessioned	2024-01-21T23:17:17Z	-
dc.date.available	2024-01-21T23:17:17Z	-
dc.date.created	2022-01-10	-
dc.date.issued	1992-01	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146565	-
dc.title	텅스텐의 화학증착시 압력증가가 증착에 미치는 영향 ..	-
dc.type	Article	-
dc.description.journalClass	3	-
dc.identifier.bibliographicCitation	대한금속학회지, v.v. 30, no.no. 8, pp.955 - 962	-
dc.citation.title	대한금속학회지	-
dc.citation.volume	v. 30	-
dc.citation.number	no. 8	-
dc.citation.startPage	955	-
dc.citation.endPage	962	-

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