DSpace at KIST: PECVD 방법에 의해 제작된 SiNx/InP MIS 구조의 bias stress 에 의한 C-V 및 G-V 곡선의 변화 .

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	강광남	-
dc.contributor.author	이정일	-
dc.contributor.author	이명복	-
dc.contributor.author	한일기	-
dc.contributor.author	이유종	-
dc.date.accessioned	2024-01-21T23:34:27Z	-
dc.date.available	2024-01-21T23:34:27Z	-
dc.date.created	2022-01-10	-
dc.date.issued	1992-01	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146631	-
dc.title	PECVD 방법에 의해 제작된 SiNx/InP MIS 구조의 bias stress 에 의한 C-V 및 G-V 곡선의 변화 .	-
dc.type	Article	-
dc.description.journalClass	3	-
dc.identifier.bibliographicCitation	새물리, v.v. 32, no.no. 2, pp.252 - ?	-
dc.citation.title	새물리	-
dc.citation.volume	v. 32	-
dc.citation.number	no. 2	-
dc.citation.startPage	252	-
dc.citation.endPage	?	-
dc.subject.keywordAuthor	MIS 구조	-

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