DSpace at KIST: 실리콘질화박막 (SiNx) 성장을 위한 하향흐름 마이크로 웨이브 플라즈마의 특성 분석 .

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	김용태	-
dc.contributor.author	김춘근	-
dc.contributor.author	민석기	-
dc.date.accessioned	2024-01-22T00:47:47Z	-
dc.date.available	2024-01-22T00:47:47Z	-
dc.date.created	2022-01-10	-
dc.date.issued	1989-01	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/147398	-
dc.title	실리콘질화박막 (SiNx) 성장을 위한 하향흐름 마이크로 웨이브 플라즈마의 특성 분석 .	-
dc.type	Article	-
dc.description.journalClass	3	-
dc.identifier.bibliographicCitation	응용물리, v.v. 2, pp.142 - 146	-
dc.citation.title	응용물리	-
dc.citation.volume	v. 2	-
dc.citation.startPage	142	-
dc.citation.endPage	146	-

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