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1차원 중성자 검출기를 이용하여, 양각 음각된 패턴의 각 각의 평균 선폭두께, 선폭분산도 및 평균 주기성을 대면적에서 비파괴로 측정하는 방법

Author

김만호

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2020-08-18

Registration No.

10-2147170

Application Date

2019-07-17

Application No.

10-2019-0086438

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/76141

Appears in Collections:

KIST Patent > Others

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