KIST Library Institutional Repository

고속 에피택셜 리프트오프를 이용한 반도체 소자의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 반도체 소자

Author

김상현; 최원준; 박민수; 금대명

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2017-05-29

Registration No.

10-1743017

Application Date

2015-05-19

Application No.

2015-0069836

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/86306

Appears in Collections:

KIST Patent > 2015

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