KIST Library Institutional Repository

상온에서 증착된 Mg2Hf5O12를 포함하는 유전체 박막, 이를 포함하는 캐퍼시터 및 트랜지스터와 이들의 제조방법

Author

김일두; 김동훈; 송용원

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2012-05-02

Registration No.

1144015

Application Date

2010-01-08

Application No.

2010-0001962

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/86937

Appears in Collections:

KIST Patent > 2010

Files in This Item:

There are no files associated with this item.

Export

RIS (EndNote)

XLS (Excel)

XML