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분리막을 이용한 반도체 디스플레이 폐가스 내 온실기체 (SF6, CF4, CO2) 분리

Authors

Lee Soonjae; 박완근; Choi Jae Woo; Lee, Sanghyup

Issue Date

2014-04

Publisher

한국화학공학회

Citation

한국화학공학회 2014년 봄 총회 및 학술대회

Keywords

기체분리; 분리막; 폐가스; 온실기체; SF6; CF4; CO2

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/92277

Appears in Collections:

KIST Conference Paper > Others

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