Full metadata record
DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 김태하 | - |
dc.contributor.author | 전명석 | - |
dc.date.accessioned | 2024-01-12T20:32:48Z | - |
dc.date.available | 2024-01-12T20:32:48Z | - |
dc.date.issued | 2011-09-27 | - |
dc.identifier.uri | https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/95995 | - |
dc.title | 다결정 실리콘 층에 의해 광 차단판이 형성된 유리 재질 마이크로 칩의 MEMS 가공 제작 | - |
dc.type | Patent | - |
dc.date.registration | 2011-09-27 | - |
dc.date.application | 2007-10-29 | - |
dc.identifier.patentRegistrationNumber | 8025776 | - |
dc.identifier.patentApplicationNumber | 11/926509 | - |
dc.publisher.country | US | - |
dc.type.iprs | 특허 | - |
dc.contributor.assignee | 한국과학기술연구원 | - |
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