KIST Library Institutional Repository

다결정 실리콘 층에 의해 광 차단판이 형성된 유리 재질 마이크로 칩의 MEMS 가공 제작

Author

김태하; 전명석

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2011-09-27

Registration No.

8025776

Application Date

2007-10-29

Application No.

11/926509

Country

US

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/95995

Appears in Collections:

KIST Patent > 2007

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