Browsing byAuthor민석기

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2000-10-26패턴된 기판을 이용한 양자세선 제작방법김성일; 박영균; 민석기; 김용; 김은규; 손창식
1991-01플라즈마 Silane 환원반응에 의한 텅스텐박막의 증착 .김용태; 민석기; 홍종성; 홍치유
1990-10플라즈마 화학증착 텅스텐박막의 증착온도에 따른 비저항 및 결정구조의 변화 .김용태; 홍종성; 홍치유; 민석기
1991-01플라즈마화학증착 텅스텐박막의 특성에 미치는 H//2/WF//6 입력비의 역활 .김용태; 민석기; 홍종성; 강태원; 홍치유
1995-01-20플라즈마 화학중착법에 의한 텅스텐 박막 증착방법김용태; 민석기
1995-06-28플라즈마 화학증착법을 이용한 갈륨비소 반도체소자의 쇼트키접합 및 금속배선용 텅스텐박막 형성방법김용태; 민석기
1995-01홀로그래픽 리소그래픽 시스템의 제작 및 미세구조 형성 연구 .박경현; 김태근; 박정호; 김무성; 민석기; 이주희
1997-08-26화학증착장치용 히터민석기; 김용; 김성일; 김무성
1997-07-15화학증착장치용 히터민석기; 김용; 김성일; 김무성

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