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Issue Date | Title | Author(s) |
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- | Development of ceria-based slurry with high selectivity for STI CMP | 임건자; 김태은; Kim Joosun; Lee Jong Ho; Lee Hae-Weon |
2002-08 | Diluted synthesis of nanocrystalline CeO₂ by mechanical milliing | 임건자; 김태은; 이종호; 이해원; 이동주; 현상훈 |
2003-01 | Effect of glycine adsorption on polishing of silicon nitride in chemical mechanical planarzation process | 김태은; 임건자; 이종호; 김주선; 이해원; 임대순 |
2003-02 | Effects of synthetic temperature and suspension stability of CeO₂abrasive on CMP characteristics | 임건자; 김태은; 이종호; 김주선; 이해원; 현상훈 |
2006-06-27 | STI-CMP용 고성능 슬러리 | 이해원; 임건자; 김태은; 김주선; 이종호 |
2004-10-28 | 화학적 기계적 평탄화 공정의 실시간 전기화학적 분석 장치 | 이종호; 김태은; 임건자; 이해원; 김주선 |