Browsing byAuthor김태은

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-Development of ceria-based slurry with high selectivity for STI CMP임건자; 김태은; Kim Joosun; Lee Jong Ho; Lee Hae-Weon
2002-08Diluted synthesis of nanocrystalline CeO₂ by mechanical milliing임건자; 김태은; 이종호; 이해원; 이동주; 현상훈
2003-01Effect of glycine adsorption on polishing of silicon nitride in chemical mechanical planarzation process김태은; 임건자; 이종호; 김주선; 이해원; 임대순
2003-02Effects of synthetic temperature and suspension stability of CeO₂abrasive on CMP characteristics임건자; 김태은; 이종호; 김주선; 이해원; 현상훈
2006-06-27STI-CMP용 고성능 슬러리이해원; 임건자; 김태은; 김주선; 이종호
2004-10-28화학적 기계적 평탄화 공정의 실시간 전기화학적 분석 장치이종호; 김태은; 임건자; 이해원; 김주선

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