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Browsing byAuthor심재필

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2018-06-26III-V족 화합물의 면방향 의존성을 이용한 에피택셜 리프트오프에 의한 반도체 소자의 제조 방법김상현; 김성광; 심재필; 김형준
2018-04-10III-V족 화합물의 면방향 의존성을 이용한 에피택셜 리프트오프에 의한 반도체 소자의 제조 방법김상현; 김성광; 심재필; 김형준
2019-12-10변형된 저마늄을 포함하는 반도체 소자의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 반도체 소자김형준; 김상현; 임희정; 김연수; 심재필
2018-08-10변형된 저마늄을 포함하는 반도체 소자의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 반도체 소자김형준; 김상현; 임희정; 김연수; 심재필
2020-05-05수평 배열된 반도체 채널을 가지는 반도체 소자 및 이의 제조 방법김형준; 심재필; 김상현
2019-10-14수평 배열된 반도체 채널을 가지는 반도체 소자 및 이의 제조 방법김형준; 심재필; 김상현
2019-09-02웨이퍼 본딩을 통한 Full color LED 제조 방법 및 이에 의해 제조된 반도체 소자김상현; 김형준; 심재필
2019-01-08전압을 인가하여 에피택셜 리프트오프 공정을 고속화하기 위한 반도체 소자의 제조 방법 및 식각 장비김상현; 김형준; 최원준; 심재필; 김성광
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