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Issue Date | Title | Author(s) |
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- | Blistering study on hydrogen ion implanted Si surface | 김형권; 옥성해; KIM JAE HUN; Kim Sun Ho; Byun Young Tae; 한상국; 우형주 |
- | Study on the proton implantation process for the fabrication of SOI wafer | 우형주; 최한우; 김준곤; 홍완; 김기동; Byun, Young Tae |
2005-12-22 | 실리콘 박막분리를 위한 표면기포 형성 방법 | 변영태; 김형권; 우형주; 김선호; 우덕하 |