Showing results 1 to 9 of 9
Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
1990-01 | Characteristics of plasma enhanced chemical vapor deposition tungsten thin films. | 김용태; 민석기; 홍종성; 김충기 |
1990-01 | Effects of SiH//4 on resistivity of plasma enhanced chemical vapor deposition tungsten thin films. | 김용태; 민석기; 홍종성; 염상섭; 홍치유; 김충기 |
1993-01 | PECVD 법으로 형성한 W//6//7N//3//3/GaAs 구조의 열적 특성 . | 김용태; 민석기; 홍종성; 이세정; 이창우; 이종무 |
1991-01 | Plasma enhanced chemical vapor deposition of low-resistive tungsten thin films. | 김용태; 민석기; 홍종성; 김충기 |
1991-01 | 갈륨비소위에 플라즈마 화학 증착한 텅스텐박막의 특성연구 . | 김용태; 민석기; 홍종성; 박승철; 박용주; 한철원; 이명복; 강태원; 홍치유 |
1991-09 | 비균일 전송선의 기존 해석에 관한 연구 | 김세윤; 하헌태; 홍종성 |
1991-01 | 플라즈마 Silane 환원반응에 의한 텅스텐박막의 증착 . | 김용태; 민석기; 홍종성; 홍치유 |
1990-10 | 플라즈마 화학증착 텅스텐박막의 증착온도에 따른 비저항 및 결정구조의 변화 . | 김용태; 홍종성; 홍치유; 민석기 |
1991-01 | 플라즈마화학증착 텅스텐박막의 특성에 미치는 H//2/WF//6 입력비의 역활 . | 김용태; 민석기; 홍종성; 강태원; 홍치유 |