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Pt/SBT/Si, Pt/SBT/Pt 강유전체 게이트 구조에서 수소 열화 현상 및 IR 게이트 전극에 의한 열화 방지 방법

Other Titles

Hydrogen Degradation of Pt/SBT/Si, Pt/SBT/Pt Ferroelectric Gate Structuresand Degradation Resistance of Ir Gate Electrode

Authors

박전웅; 김익수; 김성일; 김용태; 성만영

Issue Date

2003-06

Publisher

한국마이크로전자및패키징학회

Citation

마이크로전자 및 패키징학회지, v.10, no.2, pp.8 - 54

Keywords

hydrogen annealing; Bi-layered perovskite; interface trap

ISSN

1226-9360

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/138486

Appears in Collections:

KIST Article > 2003

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