DSpace at KIST: 전자선 리소그라피법에 의한 동일평면게이크 트랜지스터의 제작과 특성 연구 .

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	김은규	-
dc.contributor.author	민석기	-
dc.contributor.author	김광무	-
dc.contributor.author	한철구	-
dc.contributor.author	정석구	-
dc.contributor.author	박종윤	-
dc.contributor.author	박종호	-
dc.date.accessioned	2024-01-21T18:37:12Z	-
dc.date.available	2024-01-21T18:37:12Z	-
dc.date.created	2022-01-10	-
dc.date.issued	1997-03	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/143914	-
dc.title	전자선 리소그라피법에 의한 동일평면게이크 트랜지스터의 제작과 특성 연구 .	-
dc.type	Article	-
dc.description.journalClass	3	-
dc.identifier.bibliographicCitation	응용물리 ., v.v. 10, no.no. 2, pp.165 - 169	-
dc.citation.title	응용물리 .	-
dc.citation.volume	v. 10	-
dc.citation.number	no. 2	-
dc.citation.startPage	165	-
dc.citation.endPage	169	-
dc.subject.keywordAuthor	전자빔 리소그래피	-

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