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전자선 리소그라피법에 의한 동일평면게이크 트랜지스터의 제작과 특성 연구 .

Authors

김은규; 민석기; 김광무; 한철구; 정석구; 박종윤; 박종호

Issue Date

1997-03

Citation

응용물리 ., v.v. 10, no.no. 2, pp.165 - 169

Keywords

전자빔 리소그래피

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/143914

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