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박막의 미세조직이 구리박막의 미세선 형성에 미치는 영향 .

Authors

나종갑; 정경태; 김영호

Issue Date

1991-01

Citation

대한금속학회지, v.v. 29, no.no. 11, pp.1097 - 1104

Keywords

구리세선; 스파터링; 습식화학식각; 미세조직; 표면조도

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146930

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