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텅스텐의 저압화학증착 (LPCVD) 시 기체유량이 증착층의 선택성과 면저항에 미치는 영향 .

Authors

금동화; 류창섭; 이정중; 주승기

Issue Date

1989-01

Citation

대한금속학회지, v.v. 27, no.no. 11, pp.995 - 1001

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/147482

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