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Sputter 조건과 열처리온도가 ITO 박막의 전기적 및 광학적 특성에 미치는 영향 .

Authors

나종갑; 조영래; 장평우; 이택동

Issue Date

1987-01

Citation

새물리, v.v. 27, no.no. 6, pp.632 - 637

Keywords

투명전도성; ITO 박막; 스파터링; 홀효과; 후 열처리

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/147773

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