Browsing "KIST Patent" byAuthor민석기
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| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 1977-07-25 | 전자시계용 케이스 | 민석기 |
| 1977-07-25 | 전자시계용 케이스 | 민석기 |
| 1977-07-25 | 전자시계용 케이스 | 민석기 |
| 2000-08-03 | 전자싸이크로트론 공명 플라즈마에서 활성이온 및 활성분자（또는 활성원 자）생성율 제어방법 | 박용주; 민석기; 김은규 |
| 1998-03-20 | 주기율표III-V족 화합물 반도체의 건식 에칭방법 | 민석기; 김은규 |
| 2001-01-11 | 질소플라즈마를 이용한 선택적 금속 박막 증착방법 및 그를 이용한 다층금속 연결배선 방법 | 민석기; 곽성관; 김영석; 김은규 |
| 1998-11-13 | 축방향자기장을 인가할 수 있는 수직온도 구배냉각 및 수직브릿지만 화합물 반도체 단결정 성장장치 | 박용주; 민석기 |
| 1998-06-23 | 축방향자기장을 인가할 수 있는 수직온도 구배냉각 및 수직브릿지만 화합물 반도체 단결정 성장장치 | 박용주; 민석기 |
| 1999-03-12 | 축방향자기장을 인가할 수 있는 수직온도 구배냉각 및 수직브릿지만 화합물 반도체 단결정 성장장치 | 박용주; 민석기 |
| 1993-10-06 | 텅스텐 박막제조용 플라즈마 화학증착온도 측정장치 | 김용태; 민석기 |
| 1993-08-03 | 텅스텐 박막제조용 플라즈마 화학증착온도 측정장치 | 김용태; 민석기 |
| 1995-09-20 | 텡스텐 질화박막을 베리어 메탈로 이용한 실리콘 반도체 소자의 알루미늄금속배선 형성 방법 | 김용태; 민석기 |
| 2000-10-26 | 패턴된 기판을 이용한 양자세선 제작방법 | 김성일; 박영균; 민석기; 김용; 김은규; 손창식 |
| 1995-01-20 | 플라즈마 화학중착법에 의한 텅스텐 박막 증착방법 | 김용태; 민석기 |
| 1995-06-28 | 플라즈마 화학증착법을 이용한 갈륨비소 반도체소자의 쇼트키접합 및 금속배선용 텅스텐박막 형성방법 | 김용태; 민석기 |
| 1997-08-26 | 화학증착장치용 히터 | 민석기; 김용; 김성일; 김무성 |
| 1997-07-15 | 화학증착장치용 히터 | 민석기; 김용; 김성일; 김무성 |
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