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Browsing "KIST Patent" byAuthor민석기

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1993-10-06텅스텐　박막제조용　플라즈마　화학증착온도　측정장치김용태; 민석기
1993-08-03텅스텐　박막제조용　플라즈마　화학증착온도　측정장치김용태; 민석기
1995-09-20텡스텐　질화박막을　베리어　메탈로　이용한　실리콘　반도체　소자의　알루미늄금속배선　형성　방법김용태; 민석기
2000-10-26패턴된　기판을　이용한　양자세선　제작방법김성일; 박영균; 민석기; 김용; 김은규; 손창식
1995-01-20플라즈마　화학중착법에　의한　텅스텐　박막　증착방법김용태; 민석기
1995-06-28플라즈마　화학증착법을　이용한　갈륨비소　반도체소자의　쇼트키접합　및　금속배선용　텅스텐박막　형성방법김용태; 민석기
1997-08-26화학증착장치용　히터민석기; 김용; 김성일; 김무성
1997-07-15화학증착장치용　히터민석기; 김용; 김성일; 김무성
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