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전자빔으로 조절된 분역의 분극방향에 따른 식각속도 차이를 이용한 강유전체 나노점의 제작 방법

Author

강종윤; 김현재; 김달영; 윤석진

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2006-08-08

Registration No.

0612915

Application Date

2005-04-04

Application No.

2005-0028226

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/93204

Appears in Collections:

KIST Patent > 2005

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