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Browsing byAuthor권철순

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Issue DateTitleAuthor(s)
1987-01A study of Au-Ge/Ag/Au ohmic contact on n-type (100) GaAs epi-wafer.강광남; 권철순; 최인훈; 김무성; 정지채
-Comparison of amorphous and polycrystalline tungsten nitride diffusion barrier for MOCVD-Cu metallization.Kim Yong Tae; 권철순; 김동준; 이창우; 최인훈
-Thermal stability of plasma deposited tungsten nitride thin films for VLSI devices.Kim Yong Tae; 이창우; 권철순
1994-01구리확산 방지막으로서 TiW/WNx 이중층의 열적안정성에 관한 연구Kim Yong Tae; 김동준; 박종완; 권철순; Min Suk-Ki
1999-05-24반도체　금속박막의　배선방법민석기; 권철순; 김용태
-질소이온 주입된 질화텅스텐박막의 구리배선용 확산방지막 특성 .Kim Yong Tae; 권철순; 김동준; Min Suk-Ki
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