| - | Large area 3D nanoscale metal etching process | Kim Moo Hyun; Lee, Byung Chul; C. Jegatha; Kim Sang Kyung; Shin, Hyun Joon; Kim, Jung Sik; Moon, Sung Wook |
| 2008-03 | Low frequency properties of micro power generator using a gold electroplated coil and magnet | Kim, S.-I.; Lee, D.H.; Lee, Y.P.; Chang, Y.S.; Park, M.-C. |
| - | Low Resonance Frequency MEMS Piezoelectric Energy Harvester with Shear Mode | Song, Hyun - Cheol; KANG, CHONG YUN; YOON, SEOK JIN |
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| - | Low-cost fabrication of high aspect ratio metallic structure for optical switch application using UV-LIGA process | 채경수; 정대석; 김종용; 김태엽; Shin Hyun Joon; 문성옥; OH MYUNG HWAN |
| 2001-08 | MEMS 기술의 개요 및 전망 | 주병권 |
| - | MEMS fabrication of multi-channel type microfluidic chip for electrokinetic potential devices | Myung-Suk Chun |
| 2004-02 | MEMS 공정에 의해 제작된 PZT 마이크로 켄틸레버의 전기기계적 거동 및 질량에 대한 공진특성 분석 | 황교선; 이정훈; 박정호; 김태송 |
| 2000-12 | MEMS 기술을 이용한 감지 및 제어기의 기술동향 | 박세광; 김태송 |
| 2004-03 | MEMS 적용을 위한 Thermal CVD 방법에 의해 증착한 SiC막의 반응성 이온 Etching 특성 평가 | 최기용; 최덕균; 박지연; 김태송 |
| 2018-05 | MEMS-Based Gas Sensor Using PdO-Decorated TiO2 Thin Film for Highly Sensitive and Selective H-2 Detection with Low Power Consumption | Kwak, Seungmin; Shim, Young-Seok; Yoo, Yong Kyoung; Lee, jin hyung; Kim, Inho; Kim, Jinseok; Lee, Kyu Hyoung; Lee, Jeong Hoon |
| - | MEMS-IR sensor fabrication and characterization | Ju Byeong Kwon; 박흥우; 박윤권; PARK JEONG HO; 김철주; Sang-Seop Yom; SUH SANG HEE; OH MYUNG HWAN |
| 1999-01 | MEMS/FED packaging 기술 동향 (I) : 기판 접합 공정 중심으로 | 주병권; 오명환 |
| 1999-02 | MEMS/FED packaging 기술 동향 (II) : 기판 접합 공정 중심으로 | 주병권; 오명환 |
| - | Micro power generation based on thermal bubbles | Kim, Ho-Young; LEE, HEON JU; Chang, Young Soo; Lee, Yoon Pyo |
| - | Micro-SOFC Membranes with AAO as the Electrode Template | Kwon Chang Woo; Son, Ji-Won; Lee, Jong Ho; Lee, Hae-Weon; Ki-Bum Kim |
| - | Micro-tunneling sensor for vacuum level evaluation of field emission display | 박흥우; Ju Byeong Kwon; 박윤권; 김철주; OH MYUNG HWAN |
| - | Micro-tunneling sensors for vacuum level evaluation of field emission display devices | 박흥우; Ju Byeong Kwon; 박윤권; 김철주; OH MYUNG HWAN |
| 2000-02 | Microelectromechnical system 소자를 위한 박막형 2차 전지용 SnO2 음극 박막의 충방전 특성 평가 | 남상철; 조원일; 전은정; 신영화; 윤영수 |
| 1997-09 | Micromachined semi-encapsulated spiral inductors for microelectromechanical systems (MEMS) applications | Sadler, DJ; Zhang, WJ; Ahn, CH; Kim, HJ; Han, SH |
| - | Micromachining and fabrication of thin films for MEMS-infrared detectors | Sang-Seop Yom; 박흥우; 박윤권; Ju Byeong Kwon; CHOI HYUN SEOK; Oh Young-Jei; LEE JONG HOON; CHUNG MOONKYO; SUH SANG HEE; OH MYUNG HWAN |
| 2001-04 | Micromachining and fabrication of thin films for MEMS-infrared detectors | 염상섭; 박흥우; 박윤권; 주병권; 오영제; 이종훈; 정문교; 서상희; 황근창 |
| 1992-01 | Microscopy study for the batch fabrication of silicon diaphragm | 하병주; 주병권; 차균현; 오명환; 김철주 |
| - | Mo-tip field emitter array having modified gate insulator geometry | Ju Byeong Kwon; LEE YUN HI; OH MYUNG HWAN |
| - | Multi-substrate bonding using anodic bonding method | Ju Byeong Kwon; 이덕중; 최우범; 한정인; 조경인; 이광배; 장진; OH MYUNG HWAN |
| 2002-08 | Optical MEMS-MEMS 기술의 센서 응용 ( 비냉각형 적외선 이미지 소자를 중심으로 ) | 문성욱 |
| 2002-11 | Optical MEMS-MEMS 기술의 액츄에이터 응용 (III) | 문성욱; 허재성 |
| 2002-10 | Optical MEMS-MEMS 기술의 엑츄에이터 응용 ( Ⅱ )(Projection display 를 중심으로 ) | 문성욱 |
| 2002-09 | Optical MEMS-MEMS 기술의 엑츄에이터 응용 (I)( 광통신 부품을 중심으로 ) | 문성욱 |
| 2002-07 | Optical MEMS. | 문성욱 |
